micro-optomechanical devices; microassembling; micromirrors; optical losses; optical switches; 14.4 msec; 3D mirror; coupling loss; digital optical space MEMS switch; electro-static rotary motor; microassembled rotating micromirror; robotic-based microassembly proc;
机译:利用微装配旋转微镜的可扩展$ 1倍N $光学MEMS开关架构
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机译:在悬空电极上制造垂直数字硅光学微镜,用于导波光学开关应用
机译:数字光学1驴n MEMS开关利用微型配件旋转微镜
机译:基于MEMS技术的可调谐光学微镜开关的分析,制造和性能测量。
机译:用于光学相干断层扫描的MEMS扫描微镜
机译:使用被动对准组装MEMS微镜的低插入损耗光学矩阵开关
机译:具有紫外级熔融石英,蓝宝石和氟化镁窗口的数字微镜器件(DmD)的光学评估和裸装置的长期反射。