一种MEMS微镜及MEMS光开关

摘要

本发明涉及一种MEMS微镜及MEMS光开关，该MEMS微镜包括：驱动镜面结构，驱动镜面结构位于衬底上，包括两个L型结构，两个L型结构的首尾相对排布，每个L型结构包括第二扭转梁、L型横板和第二梳齿状结构，L型横板的首端下方衬底上设置有第一驱动电极，且该首端通过第二扭转梁支撑旋转，L型横板的尾端上有第二梳齿状结构；微镜镜面层位于驱动镜面结构的上方，第一扭转梁通过衬底固定且用于支撑微镜镜面层的两侧，微镜镜面层上与第二梳齿状结构相对应的两侧分别有第一梳齿状结构，使得对第一驱动电极施加较小的驱动电压时，第一、第二梳齿状结构的正对面积有较大的改变，产生的静电吸引力作用与第一梳齿状结构，使得微镜镜面层转动。