hydrogen; microcrystalline silicon; long range effects; ellipsometry; secondary ion mass spectrometry;
机译:不透明基板上用于a-Si:H薄膜太阳能电池的多层氢化p型微晶硅窗口
机译:硅浓度,氢浓度,离子通量和硅表面扩散长度对微晶硅膜生长的影响
机译:氟和氢对SiF4前驱体微晶硅的生长和传输性能的影响
机译:A-Si的微晶硅生长:H:H:氢气的影响
机译:在直流鞍场PECVD系统中氢化微晶硅薄膜的生长。
机译:a-Si:H薄膜中AFM诱导的纳米坑对硅晶体生长的影响
机译:离子对微晶硅膜中晶界和a-Si:H组织质量的影响