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一种采用氦氢气体混合共稀释法制备微晶硅锗薄膜的方法

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一种采用氦氢气体混合共稀释法制备微晶硅锗薄膜的方法，包括下述步骤：1)将带有T的玻璃衬底G放在真空室内，本底真空高于2×10

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公开/公告号CN101736321A

专利类型发明专利
公开/公告日2010-06-16

原文格式PDF
申请/专利权人南开大学;
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申请/专利号CN200910244848.8
发明设计人张建军;张丽平;倪牮;曹宇;王先宝;赵颖;耿新华;
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申请日2009-12-17
分类号C23C16/455;C23C16/42;H01L31/18;
代理机构天津佳盟知识产权代理有限公司;
代理人侯力
地址 300071 天津市南开区卫津路94号
入库时间 2023-12-18 00:27:04

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2011-11-30

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C16/455 公开日:20100616 申请日:20091217

发明专利申请公布后的视为撤回
2010-09-01

实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/455 申请日:20091217

实质审查的生效
2010-06-16

公开

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