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敦亚琳;
河北工业大学;
微晶硅锗薄膜; 窄带隙材料; 太阳能电池; 甚高频等离子增强; 化学气相沉积; 光电性能;
机译:未掺杂的微晶硅薄膜的光电和结构性质:甚高频等离子体增强化学气相沉积技术中衬底温度的依赖性
机译:喷头孔结构对甚高频PECVD沉积氢化微晶硅薄膜的影响
机译:40 MHz等离子体增强CVD制备的氢化非晶硅锗合金的拉曼散射和电特性研究
机译:等离子体CVD法制备微晶硅锗薄膜
机译:等离子增强化学气相沉积(PECVD)系统的设计和实现,该系统用于研究碳60聚合物复合薄膜和表面功能化对碳60的影响
机译:新型金刚石薄膜合成策略:无氢的微波等离子体CVD法制备甲醇和氩气氛
机译:使用热线CVD(Cat-CVD)工艺制备的氢化微晶硅薄膜的亚带隙光学吸收光谱
机译:通过光CVD(化学/气相沉积)和辉光放电制备的微晶硅 - 碳p层的研究:最终转包报告,1987年12月1日 - 1988年11月30日。
机译:PECVD SIGEPECVD微晶硅锗
机译:控制常压等离子体CVD淀积的微晶硅薄膜的结晶度的方法
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