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3D simulation of sputter deposition of titanium layers in contact holes with high aspect ratios

机译：高纵横比钛层溅射沉积溅射的3D模拟

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来源
《European Workshop on Materials for Advanced Metallization》|1998年||共3页
会议地点
作者
Bar E.; Lorenz J.; Institute of Electric and Electronic Engineer;
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正文语种
中图分类自动化技术、计算机技术;
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