机译:通过(110)硅片的角补偿各向异性刻蚀制造的自诊断高密度硅微探针阵列
机译:碱性溶液中的硅各向异性刻蚀IV有机和无机试剂对硅各向异性刻蚀工艺的影响
机译:使用(110)硅的晶体湿法刻蚀和用于X射线成像的金属电镀制成的微机械防散射栅
机译:通过110硅的各向异性刻蚀制造的微光机械装置
机译:使用硅的氢氧化钾各向异性刻蚀制造的场发射器件。
机译:金属辅助化学刻蚀制备纳米结构黑硅的增强光吸收率及器件应用
机译:粘合双SOI的硅槽翅片波导,通过各向异性湿法蚀刻技术制造的低功率累积调制器
机译:用于亚100nm通道长度晶体管的X射线光刻技术,采用常规光刻,各向异性蚀刻和斜阴影制作的掩模