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鲍敏杭; 沈绍群; 胡澄宇; 马青华; Chr.Burrer; J.Esteve; J.Bausells; S.Marco;
复旦大学电子工程系传感器研究室;
西班牙国家微电子中心;
硅; 各向异性; 腐蚀; 补偿图形; 前沿控制;
机译:电流密度对各向异性光电化学腐蚀硅(110)光学性能的影响
机译:氢氟酸腐蚀剂-硅系统的各向异性对电化学腐蚀硅时形成的孔的形状的影响
机译:硅各向异性湿化学腐蚀过程中,腐蚀的(靠近)Si {111}表面之间的角度和衬底取向对底蚀速率的影响
机译:用CO_2产生油生产水的P110钢的沉积腐蚀的浸润性衍生物的腐蚀
机译:PECVD生产的硅基和钛基航空航天涂层的微观结构,腐蚀和摩擦腐蚀行为。
机译:具有良好晶体学织构的Mg-3Al-1Zn(wt。%)轧制合金的高耐腐蚀性和弱腐蚀各向异性
机译:金属腐蚀分析的最前沿,旨在建立先进的腐蚀和腐蚀技术和高剂量材料开发
机译:腐蚀性淹没对机械稳定土墙镀锌带条腐蚀速率的影响
机译:硅各向异性腐蚀剂及各向异性腐蚀方式
机译:基于氟的等离子腐蚀高空硅结构各向异性腐蚀方法
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