机译:粘合双SOI的硅槽翅片波导,通过各向异性湿法蚀刻技术制造的低功率累积调制器
机译:使用各向异性湿蚀刻技术制造的低损耗硅波导和光栅耦合器
机译:使用各向异性湿蚀刻实现具有硅(111)表面的低损耗缝隙波导
机译:硅湿法刻蚀的大体积硅基波导和弯曲:性能和极限
机译:用于低V VL累积调制器的10nm栅极氧化键合双SOI上的3D Fin波导
机译:苯并环丁烯聚合物与采用各向异性湿法刻蚀制造的硅微机械结构的集成。
机译:异丙醇浓度和刻蚀时间对低电阻晶体硅晶片湿化学各向异性刻蚀的影响
机译:采用各向异性湿法刻蚀技术制作的低损耗硅波导和光栅耦合器
机译:由各向异性蚀刻制作的短程光学波导透镜