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IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems
IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems
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1.
Author Index
机译:
作者索引
作者:
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
2.
Micropump manufactured by thermoplastic molding
机译:
通过热塑性成型制造的微型泵
作者:
Bustgens B.
;
Bacher W.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
3.
Micro-torque sensor based on differential force measurement
机译:
基于差分测量的微扭矩传感器
作者:
Gass V.
;
van der Schoot B.H.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
4.
Outer-rotor polysilicon wobble micromotors
机译:
外转子多晶硅摆动微量运动器
作者:
Deng K.
;
Mehregany M.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
5.
Reynman revisited
机译:
Reynman Revisited.
作者:
Senturia S.D.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
6.
Simple microflight mechanism on silicon wafer
机译:
硅晶片上的简单MicroFlight机制
作者:
Shimoyama I.
;
Kubo Y.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
7.
A concentric build-up process to fabricate practical wobble motors
机译:
一个同心的积聚过程,用于制造实用摆动电动机
作者:
Ogura H.
;
Maeda S.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
8.
Miniature gear reduction unit driven by a silicon electrostatic wobble motor
机译:
由硅静电摆动电动机驱动的微型齿轮减速装置
作者:
Paratte L.
;
Lorenz H.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
9.
Materials for LIGA products
机译:
LIGA产品的材料
作者:
Ehrfeld W.
;
Abraham M.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
10.
Self-consistent simulation and modelling of electrostatically deformed diaphragms
机译:
静电变形隔膜的自洽仿真和建模
作者:
Osterberg P.
;
Yie H.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
11.
Buckled membranes for microstructures
机译:
用于微观结构的弯曲膜
作者:
Popescu D.S.
;
Lammerink T.S.J.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
12.
Microfabrication of 3D multidirectional inclined structures by UV lithography and electroplating
机译:
通过UV光刻和电镀的3D多向倾斜结构的微型制作
作者:
Beuret C.
;
Racine G.-A.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
13.
Electrostatic polysilicon microrelays integrated with MOSFETs
机译:
静电多晶硅微孔与MOSFET集成
作者:
Gretillat M.-A.
;
Thiebaud P.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
14.
Thermally driven microvalve with buckling behaviour for pneumatic applications
机译:
热驱动的微型阀,用于气动应用的屈曲行为
作者:
Lisec T.
;
Hoerschelmann S.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
15.
The automatic synthesis of planar fabrication process flows for surface micromachined devices
机译:
用于表面微机械装置的平面制造工艺流动的自动合成
作者:
Gogoi B.
;
Yuen R.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
16.
Development of perfect shape memory effect in sputter-deposited Ti-Ni thin films
机译:
在溅射沉积的Ti-Ni薄膜中开发完美的形状记忆效应
作者:
Miyazaki S.
;
Nomura K.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
17.
Post-buckling of micromachined beams
机译:
后屈曲的微机械梁
作者:
Fang W.
;
Wickert J.A.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
18.
Microfabrication of integrated FMAS using stereo lithography
机译:
使用立体声光刻的集成FMA微型制作
作者:
Suzumori K.
;
Koga A.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
19.
A micro mobile mechanism using thermal expansion and its theoretical analysis. A comparison with impact drive mechanism using piezoelectric elements
机译:
一种使用热膨胀的微移动机制及其理论分析。使用压电元件的冲击驱动机构比较
作者:
Yamagata Y.
;
Higuchi T.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
20.
A high voltage solar cell array as an electrostatic MEMS power supply
机译:
高压太阳能电池阵为静电MEMS电源
作者:
Lee J.B.
;
Zizhang Chen
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
21.
RF-magnetron sputtering of piezoelectric lead-zirconate-titanate actuator films using composite targets
机译:
使用复合目标压电引线 - 锆酯 - 钛酸钛酸盐致动膜的RF-磁控溅射
作者:
Abe T.
;
Reed M.L.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
22.
Optical in situ monitoring of silicon diaphragm thickness during wet etching
机译:
光学蚀刻期间硅隔膜厚度的光学监测
作者:
Minami K.
;
Tosaka H.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
23.
Micro-opto-mechanical devices fabricated by anisotropic etching of 110 silicon
机译:
通过110硅的各向异性蚀刻制造的微光机械装置
作者:
Uenishi Y.
;
Tsugai M.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
24.
Architecture combination by micro photoforming process
机译:
结构组合通过微光成像过程
作者:
Takagi T.
;
Nakajima N.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
25.
Electrostatic artificial muscle: compact, high-power linear actuators with multiple-layer structures
机译:
静电人工肌:具有多层结构的紧凑型大功率线性执行器
作者:
Niino T.
;
Egawa S.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
26.
Information transformation-based tele-micro-handling/machining system
机译:
信息转换基远程微处理/加工系统
作者:
Mitsuishi M.
;
Kobayashi K.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
27.
Thermally controlled magnetization actuator (TCMA) using thermosensitive magnetic materials
机译:
使用热敏磁性材料的热控制磁化致动器(TCMA)
作者:
Hashimoto E.
;
Tanaka H.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
28.
Fabrication of actuators using magnetostrictive thin films
机译:
使用磁致伸缩薄膜制造致动器
作者:
Honda T.
;
Arai K.I.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
29.
Process induced hillock defects on anisotropically etched silicon
机译:
过程诱导了各向异性蚀刻硅的小丘缺陷
作者:
Song-Sheng Tan
;
Hongtao Han
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
30.
Design and fabrication of miniature relay matrix and investigation of electromechanical interference in multi-actuator systems
机译:
微型继电器矩阵的设计与制造,以及多执行机系统机电干扰研究
作者:
Hosaka H.
;
Kuwano H.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
31.
Low temperature sacrificial wafer bonding for planarization after very deep etching
机译:
低温牺牲晶片在非常深蚀刻后的平坦化
作者:
Spiering V.L.
;
Berenschot J.W.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
32.
Mechanism and swimming experiment of micro mobile robot in water
机译:
水中微型移动机器人的机制与游泳实验
作者:
Fukuda T.
;
Kawamoto A.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
33.
Characteristics of an electrostatically-driven gas valve under high-pressure conditions
机译:
高压条件下静电驱动气阀的特性
作者:
Shikida M.
;
Sato K.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
34.
Construction of 3-D micro structure by multi-face FAB, co-focus rotational robot and various mechanical tools
机译:
用多面法施工3-D微结构,共聚焦旋转机器人和各种机械工具
作者:
Hatamura Y.
;
Nakao M.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
35.
Ultrasound-transducer using membrane resonators realized with bipolar IC technology
机译:
超声换能器,采用与双极IC技术实现的膜谐振器
作者:
Brand O.
;
Baltes H.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
36.
Fine frequency tuning in resonant sensors
机译:
谐振传感器中的细频调谐
作者:
Cabuz C.
;
Fukatsu K.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
37.
Fabrication technology for wafer through-hole interconnections and three-dimensional stacks of chips and wafers
机译:
晶圆通孔互连和三维芯片和晶片的制造技术
作者:
Linder S.
;
Baltes H.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
38.
Fluidic self-assembly of microstructures and its application to the integration of GaAs on Si
机译:
微观结构的流体自组装及其应用于GaAs对Si的整合
作者:
Hsi-Jen Yeh
;
Smith J.S.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
39.
Biomedical micro robots driven by miniature cybernetic actuator
机译:
由微型控制性执行器驱动的生物医学微型机器人
作者:
Ikuta K.
;
Nokata M.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
40.
Vacuum-encapsulated thermistor bolometer type miniature infrared sensor
机译:
真空封装热敏电阻钻头型微型红外传感器
作者:
Mori T.
;
Kudoh T.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
41.
A new capacitive electro-chemical etch-stop technique
机译:
一种新型电容式电气化学蚀刻停止技术
作者:
Ma K.J.
;
Najafi K.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
42.
A fully integrated micromachined magnetic particle manipulator and separator
机译:
完全集成的微机磁性颗粒机械手和隔板
作者:
Ahn C.H.
;
Allen M.G.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
43.
Rotational control of anisotropic micro-objects by optical pressure
机译:
光学压力旋转控制各向异性微物体
作者:
Higurashi E.
;
Ukita H.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
44.
Superplastic micro-forming of microstructures
机译:
微结构的超塑性微观形成
作者:
Saotome Y.
;
Inoue A.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
45.
Three dimensional micro integrated fluid systems (MIFS) fabricated by stereo lithography
机译:
由立体声光刻制造的三维微集成流体系统(MIFS)
作者:
Ikuta K.
;
Hirowatari K.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
46.
Viscous air damping in laterally driven microresonators
机译:
横向驱动的微谐振器中的粘性空气阻尼
作者:
Xia Zhang
;
Tang W.C.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
47.
A nested electrostatically-actuated microvalve for an integrated microflow controller
机译:
用于集成的微流量控制器的嵌套静电微阀
作者:
Robertson J.K.
;
Wise K.D.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
48.
Electrostatic servo system for multi-axis accelerometers
机译:
用于多轴加速度计的静电伺服系统
作者:
Jono K.
;
Hashimoto M.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
49.
Micromechanisms and their characteristics
机译:
微机制及其特征
作者:
Hayashi T.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
50.
Evaluation of energy dissipation mechanisms in vibrational microactuators
机译:
振动微致动器中能量耗散机制的评价
作者:
Hosaka H.
;
Itao K.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
51.
Micro-assembly with a focused laser beam
机译:
带聚焦激光束的微组件
作者:
Rambin C.L.
;
Warrington R.O.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
52.
Simulation and experimental study of gray-tone lithography for the fabrication of arbitrarily shaped surfaces
机译:
灰色色调光刻制造任意形状表面的仿真和实验研究
作者:
Henke W.
;
Hoppe W.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
53.
SESES: a comprehensive MEMS modelling system
机译:
Seses:一个综合的MEMS建模系统
作者:
Korvink J.G.
;
Funk J.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
54.
A theory of manipulation and control for microfabricated actuator arrays
机译:
用于微制绕组阵列的操纵与控制理论
作者:
Bohringer K.-F.
;
Donald B.R.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
55.
Fabrication of advanced integrated optical micro-encoder chip
机译:
高级集成光学微编码器芯片的制作
作者:
Sawada R.
;
Ohguchi O.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
56.
Surface micromachined magnetic actuators
机译:
表面微机械磁致电致动器
作者:
Chang Liu
;
Tom Tsao
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
57.
Materials analysis of fluorocarbon films for MEMS applications
机译:
MEMS应用的碳氟镁材料分析
作者:
Elders J.
;
Jansen H.V.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
58.
Wet chemical etching mechanism of silicon
机译:
硅湿化学蚀刻机构
作者:
Elwenspoek M.
;
Lindberg U.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
59.
A novel fabrication method of capillary tubes on quartz for chemical analysis applications
机译:
用于化学分析应用中石英毛细管的新型制造方法
作者:
Kaplan W.
;
Elderstig H.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
60.
A self-excited chopper made by quartz micromachining and its application to an optical sensor
机译:
由石英微机械制造的自我激发斩波器及其在光学传感器上的应用
作者:
Toshiyoshi H.
;
Fujita H.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
61.
A bistable snapping microactuator
机译:
一个双稳态捕捉微致动器
作者:
Matoba H.
;
Ishikawa T.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
62.
KrF excimer laser induced selective non-planar metallization
机译:
KRF准分子激光诱导选择性非平面金属化
作者:
Maeda S.
;
Minami K.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
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1994年
63.
Shape memory alloy thin film fabricated by laser ablation
机译:
通过激光消融制造的形状记忆合金薄膜
作者:
Ikuta K.
;
Hayashi M.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
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1994年
64.
Speed control of elastic force motors by means of integrated piezoelectric sensors
机译:
通过集成压电传感器速度控制弹力电动机
作者:
Racine G.-A.
;
Beuret C.
;
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
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1994年
65.
Proceedings IEEE Micro Electro Mechanical Systems
机译:
诉讼IEEE MICRO ELECTRO MOCHICLIC SYSTEMS
作者:
Institute of Electric and Electronic Engineer
会议名称:
《IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems》
|
1994年
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