机译:硬X射线光学三维圆形Kinoform镜头灰度电子束光刻研究
机译:通过电子束光刻和深反应离子刻蚀制造用于硬X射线聚焦的硅纳米管透镜
机译:直接写电子束平版印刷人形的近似效果的测量和建模
机译:通过电子束光刻直接写的邻近补偿的亲子型
机译:聚合物抗蚀剂的电子束感应电导率效应和电子束光刻中的电荷感应电子束偏转模拟。
机译:使用电子束光刻写入的相位掩模通过近场全息术制造的软X射线变化线间隔光栅
机译:电子束手写光栅的多光束干涉光刻
机译:利用高分辨率电子束光刻和分子束外延制作亚50nm手指间距和宽度高速金属半导体金属光电探测器