Hermetic packaging; Resonator; Hydrogen diffusion; Quality factor;
机译:封装的MEM谐振器的热机械噪声限制电容转换
机译:具有高频稳定性和低振动灵敏度的3D封装的VHF MEMS谐振器
机译:3D封装VHF MEMS谐振器的可靠性测试
机译:封装MEMS谐振器的氢气扩散和压力控制
机译:使用微通道封装的MEMS谐振器进行实时生物传感。
机译:在氢化非晶硅微圆柱谐振器中使用Kerr非线性进行超快光学控制
机译:封装MEM谐振器的热机械 - 噪声限制电容转换
机译:pd(111)中的体积氢与吸附CN的反应:氢扩散的可能控制障碍