退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
陈德勇; 曹明威; 王军波; 焦海龙; 张健;
中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室 北京100190;
微电子机械系统; 谐振式压力传感器; 绝缘体上硅(SOI); 阳极键合; 真空封装;
机译:晶圆级真空封装的速率陀螺,具有商业MEMS过程的高质量因子
机译:基于晶圆级真空封装的MEMS谐振器的高分辨率应变传感器的制造
机译:用于VHF MEMS谐振器的寄生效应较小的零级真空封装技术
机译:先进的MEMS(aMEMS)工艺用于制造具有嵌入式垂直馈通的晶圆级真空封装SOI-MEMS器件
机译:用于恶劣环境的无源无线MEMS动态压力传感器
机译:晶圆级真空封装电容式加速度计采用未经修改的商业MEMS工艺制造
机译:CmOs-mEms谐振式压力传感器的特性
机译:基于Q因子测量的高分辨率大动态范围谐振式压力传感器
机译:使用硅化物键合在真空状态下封装MEMS设备的方法和使用相同方法在真空封装的MEMS设备上进行包装的方法
机译:在真空状态下封装MEMS器件的方法以及使用该方法真空封装的MEMS器件
机译:用于MEMS压力传感器的晶圆级测试的方法和系统
抱歉,该期刊暂不可订阅,敬请期待!
目前支持订阅全部北京大学中文核心(2020)期刊目录。