polycrystalline 3C-SiC; resonator; doping;
机译:用于恶劣环境MEMS应用的氮掺杂多晶3C-SiC薄膜的生长和表征
机译:使用单甲基硅烷和氢气的热网化学气相沉积法在SiO_2上生长的(100)取向3C-SiC多晶膜
机译:通过掺杂来控制(111)多晶3C-SiC薄膜的晶粒尺寸,以用作折束MEMS谐振器以实现能量耗散
机译:用于谐振器应用的SiO_2 / Si(100)基板上的重掺杂多晶3C-SiC生长
机译:研究碲化汞镉红外探测器在硅(100)衬底上碲化镉纳米异质外延生长的研究。
机译:用于太阳能电池应用的平面Si(100)平面Si(111)和带纹理的Si(100)衬底上具有良好刻面的带纹理的ZnO的生长和表征
机译:在多晶衬底上选择堆叠故障100纳米线的选择性生长,用于能量转换应用
机译:用于鲁棒微机电系统应用的低应力非晶si3N4 / si衬底上siC薄膜的生长和掺杂