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机译:用于恶劣环境MEMS应用的氮掺杂多晶3C-SiC薄膜的生长和表征
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机译:在硅晶片上生长的用于恶劣环境的微器件的多晶3C-SiC薄膜的特性
机译:极端环境应用中的多晶3c-sic薄膜二极管的表征
机译:通过单源化学气相沉积在MEMS(Si)(100)衬底上异质外延生长3C-SiC薄膜
机译:金属诱导生长的多晶硅薄膜:形成机理,表征和应用
机译:具有Ru籽晶层的MEMS不可蒸发吸气薄膜的研制与表征
机译:用于苛刻环境MEMS应用的2“3C-SiC晶片的直接粘合特性
机译:使用有源薄膜在恶劣环境中阻尼mEms器件