accelerometers; micromechanical devices; dynamic response; encapsulation; finite element analysis; dynamic response; plastic encapsulated high-g MEMS accelerometer; cantilever beams; glass substrate; wafer level packaging technology; Kovar header; encapsulation; package structure; finite element method; beam deflection; damped free vibration; protective cap; die attach;
机译:高g MEMS加速度计梁的近接触气体阻尼和动态响应
机译:封装高克MEMS加速度计动态冲击响应性能与压敏电阻杂质浓度关系的研究与仿真
机译:基于EMD和小波阈值的高G MEMS加速度计高G校准降噪方法
机译:塑料封装的高g MEMS加速度计的动态响应
机译:动态范围极限条件下的惯性传感器设计:集成式CMOS-MEMS高g和mu g加速度计。
机译:用于高g微机电系统(MEMS)加速度计的动态线性测量的双头冲击系统的开发
机译:用于高g微机电系统(mEms)加速度计动态线性度测量的双弹头冲击系统的开发
机译:严重冲击载荷下mEms加速度计的动态响应评估