chemical mechanical planarization; MEMS mirror array; sputtering; polishing; MEMS integration;
机译:用于垂直堆叠金属MEMS集成的化学机械抛光CMOS芯片平面化
机译:通过多物理场仿真为集成CMOS-MEMS技术设计的电容式CMOS-MEMS传感器
机译:硅基电路上垂直集成金属MEMS的平面化技术
机译:用于综合金属MEMS的CMOS模具的平坦化
机译:使用线性化技术的用于大型金属MEMS反射镜阵列的集成CMOS电子驱动器。
机译:具有改进的电感器品质因数的稳健的全集成数字输出电感式CMOS-MEMS加速度计
机译:用于集成金属mEms的CmOs管芯的平面化
机译:集成多器件CmOs-mEms ImU系统和RF mEms应用