二硫化モリブデン/グラフェンのファンデルワールスヘテロ構造を用いたガスセンサの評価

摘要

グラフェンの表面に還元性ガス分子が吸着すると，グラフェン中の正孔が還元性ガス分子に奪われるため，グラフェンが n 型化し，それに伴う抵抗変化を検知できる．そのため，グラフェンでは高感度なガスセンサ応用に向けての研究がされている．また，二硫化モリブデン(MoS_2)などの遷移金属ダイカルコゲナイドを用い，原子層薄膜を積層させたファンデルワールスヘテロ接合(vdWH)にも注目が集まっている．そこで，我々は，MoS_2/グラフェンのvdWHのガスセンサを作製し，そのガス検知特性を調べた．