Nanoimprint lithography; multi-scale; computational lithography; simulation; design for manufacture;
机译:通过丝网印刷排出粘性的可紫外线固化的树脂液滴,用于紫外线纳米压印光刻
机译:具有图案模板的UV纳米压印光刻中的流体流动
机译:一种简单新颖的方法,用于评估UV纳米压印光刻(UV-NIL)中的UV固化树脂与印模之间的粘合性能
机译:通过在特征,液滴和模板比例下快速模拟树脂流动,可以预测液滴分布的UV纳米压印光刻的缺陷率
机译:快速扩展流中聚合物液体的多尺度建模与仿真
机译:通过软紫外-纳米压印光刻技术对图案化的Al薄膜进行退火处理大规模制造纳米图案化的蓝宝石衬底
机译:UV纳米压印光刻模板制造过程的现状与挑战
机译:非均匀压花模拟:纳米压印平版印刷中非对称邻近空腔对聚合物流动的影响