MEMS; silicon microphone; circular diaphragm; inertial tensile stress; test; large deflection; pull-in;
机译:应力对MEMS应用膜的引入电压的影响
机译:圆形双背板MEMS麦克风的多目标优化:引入电压,灵敏度和共振频率之间的折衷
机译:MEMS中方形膜片小挠度的引入电压和接触点压力的简单计算方法
机译:一种大的硅膜偏转模型,用于测量拉动电压MEMS麦克风的固有应力
机译:开发拉入式游离静电MEMS麦克风
机译:估算MEMS悬臂的电压值和拉入极限位置的新分析模型
机译:基于mEms的电压基准和过程监测的静态拉入分析与分析建模