机译:圆形双背板MEMS麦克风的多目标优化:引入电压,灵敏度和共振频率之间的折衷
Bu Ali Sina Univ Dept Mech Engn Hamadan Iran;
Tech Univ Denmark Dept Elect Engn Lyngby Denmark;
机译:圆形双背板MEMS麦克风的多目标优化:引入电压,灵敏度和共振频率之间的折衷
机译:基于修正耦合应力理论的RF MEMS开关吸合电压灵敏度分析
机译:MEMS两轴加速度计的交叉灵敏度和吸合电压测量方法
机译:通过测量吸合电压来测试MEMS麦克风固有应力的硅膜大挠度模型
机译:开发拉入式游离静电MEMS麦克风
机译:带有波纹金属膜片和硅背板的CMOS MEMS电容式麦克风的实现
机译:A5.2基于群的单板冷凝器MEMS麦克风的多目标设计优化