一种调整MEMS麦克风吸合电压的工艺方法

摘要

本发明涉及一种调整MEMS麦克风吸合电压的工艺方法，MEMS麦克风包括基底、设置在基底上的振膜、及设置在振膜上的背板，基底具有空腔，调整MEMS麦克风吸合电压的工艺方法包括：提供等离子体化学气相沉积设备，等离子体化学气相沉积设备利用射频产生N2O等离子体，N2O等离子体穿过空腔作用在振膜上，在振膜上形成氮氧化硅层，改变MEMS麦克风的吸合电压，使得MEMS麦克风的吸合电压趋向减小分布，满足使用范围要求，提高产品良率，节约资源。