backside inspection; spatial pattern recognition; defects; macro inspection; focus spots;
机译:鲁道夫的NovusEdge被领先的晶圆制造商选择用于裸晶圆边缘和背面检查
机译:晶圆背面保护和薄晶圆加工
机译:鲁道夫(Rudolph)交付第100个晶圆边缘和背面检测系统
机译:使用晶圆背面检验和弹簧解决系统工具和流程问题
机译:半导体制造中光刻工艺和晶圆检查方案的三维建模
机译:用AlGaN / GaN异质结构和背面的高电子移动装置激光加工透明晶片
机译:利用先进的宏观检测技术研究晶圆背面缺陷与光刻热点的关系
机译:最大化系统检查过程的效益