optical lithography; immersion; excimer laser; optical extension;
机译:用于45nm制造的浸没式光刻
机译:用193nm浸没式光刻成像干涉光刻和偶极子照明对45nm半节距节点进行仿真
机译:用193nm浸没式光刻成像干涉光刻和偶极子照明对45nm半节距节点进行仿真
机译:45nm节点的水浸光学光刻
机译:用于浸没式光刻的水性和有机液体的折射率和吸收率。
机译:冰水浸入和冷水浸入在运动诱发的体温过高的跑步者中提供相似的降温速率
机译:用于45nm节点的水浸光学光刻