dielectric thin films; atomic layer deposition; MOS capacitors; carrier mobility; MOSFET; interface states; silicon compounds; atomic-layer-deposited gate dielectrics; ultrathin gate dielectrics; sub-tunneling gate dielectrics; ALD; EOT; MOS capacitors;
机译:具有原子层沉积的氮化硅/ SiO_2堆叠栅电介质的金属氧化物半导体场效应晶体管的偏置温度不稳定性
机译:带有原子层沉积氮化硅栅介质的金属氧化物半导体场效应晶体管中的载流子迁移率
机译:具有原子层沉积的氮化硅/ SiO / sub 2 /堆叠栅电介质的p-MOSFET中的载流子迁移率
机译:原子层 - 沉积超薄Si-氮化物栅极电介质 - 诸如副隧道栅极电介质的更好选择
机译:将超薄(1.6-2.0 nm)RPECVD堆叠的氧化物/氮氧化物栅极电介质集成到双多晶硅栅极亚微米CMOSFET中。
机译:具有TiO2栅极电介质的超薄VO2通道中的正偏置栅极控制的金属-绝缘体过渡
机译:具有原子层沉积ZrO2AS栅极电介质的化学气相沉积单层MOS2TOP栅极MOSFET