planarization; BCB; MEMS; micro-mirror-array; CMOS; photolithography;
机译:通过对ASMC 0.35- $ mu text {m} $ CMOS芯片进行后处理的CMOS-MEMS微镜阵列
机译:CMOS工艺制造的微镜阵列在MEMS显示器中的应用
机译:表面微机械多晶硅镜和标准CMOS工艺的集成
机译:用于使用3-D集成的单晶硅制成的自适应光学器件的CMOS-可叠加的活塞式微镜阵列
机译:使用线性化技术的用于大型金属MEMS反射镜阵列的集成CMOS电子驱动器。
机译:超越CMOS:III-V器件RF MEMS和其他异种材料/器件与Si CMOS的异构集成以创建智能微系统
机译:通过集成衍射微透镜阵列改善Si CMOS单光子雪崩二极管探测器阵列的填充因子