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International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
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1.
A MICRO DIRECT METHANOL FUEL CELL INTEGRATED WITH A TEMPERATURE CONTROL SYSTEM FOR EXTREME ENVIRONMENTS
机译:
一种微直接甲醇燃料电池,用于极端环境的温度控制系统
作者:
Qian Zhang
;
Xiaohong Wang
;
Yiming Zhu
;
Yanan Zhou
;
Xinping Qiu
;
Litian Liu
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
2.
A Stress-Tolerant Temperature-Stable RF MEMS Switched Capacitor
机译:
应力耐高温稳定的RF MEMS开关电容器
作者:
Reines I.
;
Pillans B.
;
Rebeiz G.M.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
3.
Passivated Electrode Actuator with Stable Resonance Amplitude
机译:
具有稳定共振幅度的钝化电极执行器
作者:
Bahl G.
;
Walmsley R. G.
;
DeMartini B. E.
;
Turner K. L.
;
Hartwell P. G.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
4.
A Fully CMOS-Compatible Micro-Pirani Gauge based on a Constant Current
机译:
基于恒定电流的完全CMOS兼容的微比仪表
作者:
Wang Jiaqi
;
Tang Zhenan
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
5.
PZT MEMS Actuated Flapping Wings for Insect-Inspired Robotics
机译:
PZT MEMS驱动昆虫启发机器人翼翅膀
作者:
Bronson J.R.
;
Pulskamp J.S.
;
Polcawich R.G.
;
Kroninger C.M.
;
Wetzel E.D.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
6.
A 12-GHz DPDT RF-MEMS Switch with Layer-Wise Waveguide/Actuator Design Technique
机译:
具有层面波导/执行器设计技术的12-GHz DPDT RF-MEMS开关
作者:
Yamane D.
;
Seita H.
;
Sun W.
;
Kawasaki S.
;
Fujita H.
;
Toshiyoshi H.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
7.
Biomimetic Design and Fabrication of Components for Artificial Hair Cell Sensor
机译:
人工毛细胞传感器组件的仿生设计和制造
作者:
Lee H.S.
;
Lee B.-K.
;
Kwon T.H.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
8.
Development of the Novel Elongation-Measurement Device with In-Plane Bimorph Actuator for the Tensile Test
机译:
具有平面内黑猩猩致动器的新型伸长测量装置,用于拉伸试验
作者:
Fujii Hiroki
;
Namazu Takahiro
;
Inoue Shozo
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
9.
MEMS Tactile Display with Hydraulic Displacement Amplification Mechanism
机译:
具有液压位移放大机制的MEMS触觉显示
作者:
Ninomiya T.
;
Osawa K.
;
Okayama Y.
;
Matsumoto Y.
;
Miki N.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
10.
In-Plane Bandpass Regulation Check Valve in Heat-Shrink Packaging for Drug Delivery
机译:
加热收缩包装中的平面带通调节阀用于药物递送
作者:
Lo R.
;
Meng E.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
11.
Micro Liquid Prism
机译:
微液体棱镜
作者:
Yoshihata Y.
;
Takei A.
;
Binh-Khiem N.
;
Kan T.
;
Iwase E.
;
Matsumoto K.
;
Shimoyama I.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
12.
SPATIALLY ARRANGED MICROELECTRODES USING WIRE BONDING TECHNOLOGY FOR SPATIALLY DISTRIBUTED CHEMICAL INFORMATION ACQUISION
机译:
空间排列的微电极使用导线键合技术进行空间分布式化学信息采集
作者:
W. Tonomura
;
K. Shimizu
;
S. Konishi
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
13.
ELECTROSTATIC ROTARY STEPPER MICROMOTOR FOR SKEW ANGLE COMPENSATION IN HARD DISK DRIVE
机译:
硬盘驱动器中偏斜角度补偿的静电旋转步进器微电路
作者:
E. Sarajlic
;
C. Yamahata
;
M. Cordero
;
H. Fujita
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
14.
Vacuum Wafer Level Packaged Two-Dimensional Optical Scanner by Anodic Bonding
机译:
真空晶片级通过阳极键合封装二维光学扫描仪
作者:
Tachibana H.
;
Kawano K.
;
Ueda H.
;
Noge H.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
15.
EL Display Printed on Curved Surface
机译:
EL显示器印在弯曲的表面上
作者:
Lee Taik-Min
;
Choi Hyun-Cheol
;
Noh Jae-Ho
;
Kim Dong-Soo
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
16.
Pricise Titration Microfluidic System using Sub-Picoliter Droplet Injection
机译:
使用亚picholiter液滴喷射的精确滴定微流体系统
作者:
Kawai Kentaro
;
Fujii Masaru
;
Shoji Shuichi
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
17.
MULTICHAMBER TUNABLE LIQUID MICROLENSES WITH ACTIVE ABERRATION CORRECTION
机译:
具有主动像差校正的多米体可调液体微透镜
作者:
D. Mader
;
P. Waibel
;
A. Seifert
;
H. Zappe
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
18.
An Electromagnetic Micro Power Generator for Low Frequency Environmental Vibrations based on the Frequency Up-Conversion Technique
机译:
基于频率上转换技术的低频环境振动电磁微发电机
作者:
Sari Ibrahim
;
Balkan Tuna
;
Kulah Haluk
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
19.
An EWOD Droplet Microfluidic Chip with Integrated Local Temperature Control for Multiplex Proteomics
机译:
具有集成局部温度控制的EWOD液滴微流体芯片,用于多路复用蛋白质组学
作者:
Nelson Wyatt
;
Peng Ivory
;
Loo Joseph A.
;
Garrell Robin L.
;
Kim Chang-Jin
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
20.
Direct Wire-Bonding of Silicon Devices Without Metal Pads
机译:
没有金属垫的硅装置的直接引线键合
作者:
Hirshberg A.
;
Elata D.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
21.
Bead-Based Microfluidic Platform Integrated with Optical Detection Devices for Rapid Detection of Genetic Deletion from Saliva
机译:
基于珠的微流体平台与光学检测装置集成,用于快速检测唾液遗传缺失
作者:
Lien Kang-Yi
;
Liu Chien-Ju
;
Kuo Pao-Lin
;
Lee Gwo-Bin
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
22.
PERFORMANCE OF PACKAGED PIEZOELECTRIC MICROSPEAKERS DEPENDING ON THE MATERIAL PROPERTIES
机译:
根据材料特性的封装压电微空烧断性能
作者:
SeungHwan Yi
;
Soon Chul Ur
;
Eun Sok Kim
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
23.
MONOLITHIC MULTICOLOR TOTAL INTERNAL REFLECTION (TIR)-BASED CHIP FOR HIGHLY-SENSITIVE MULTIFLUORESCENCE DETECTION AND IMAGING
机译:
用于高敏感的多氟化复位检测和成像的单片多色全内反射(TIR)基础芯片
作者:
Nam Cao Hoai Le
;
Dzung Viet Dao
;
Ryuji Yokokawa
;
John Wells
;
Susumu Sugiyama
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
24.
Electrohydrodynamic Jet Printing Capable of Removing Substrate Effects and Modulating Printing Characteristics
机译:
电流动力喷射印刷能够去除底物效应和调节印刷特性
作者:
Lee Jun-Sung
;
Kim Young-Jae
;
Kang Byeong-Geun
;
Kim Sang-Yoon
;
Park Jaehong
;
Hwang Jungho
;
Kim Yong-Jun
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
25.
Development of Multi-User Multi-Chip SOI CMOS-MEMS Processes
机译:
多用户多芯片SOI CMOS-MEMS流程的开发
作者:
Takahashi K.
;
Mita M.
;
Nakada M.
;
Yamane D.
;
Higo A.
;
Fujita H.
;
Toshiyoshi H.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
26.
Topology Optimization for Micro Rotational Mirror Design and Safe Manufacturing
机译:
微型旋转镜设计和安全制造的拓扑优化
作者:
Chen T.
;
Liu Z.
;
Korvink J. G.
;
Krausse S.
;
Wallrabe U.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
27.
Powerful Actuation of Magnetized Microtool by Focused Magnetic Field on a Disposable Microfluidic Chip
机译:
一次性微流体芯片上聚焦磁场对磁化微池的强大致动
作者:
Arai F.
;
Sakuma S.
;
Yamanishi Y.
;
Onda K.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
28.
Electron Beam Stimulated Oxidation of Carbon (EBSOC)
机译:
电子束刺激碳的氧化(EBSOC)
作者:
Spinney P. S.
;
Collins S. D.
;
Smith R. L.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
29.
CMOS-Integrable Piston-Type Micro-Mirror Array for Adaptive Optics Made of Mono-Crystalline Silicon using 3-D Integration
机译:
用于使用3-D集成的单晶硅制成的自适应光学器件的CMOS-可叠加的活塞式微镜阵列
作者:
Lapisa Martin
;
Zimmer Fabian
;
Niklaus Frank
;
Gehner Andreas
;
Stemme Goran
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
30.
A SURFACE-TENSION-DRIVEN PROPULSION AND ROTATION PRINCIPLE FOR WATER-FLOATING MINI/MICRO ROBOTS
机译:
用于水浮式迷你/微机器人的表面张力驱动的推进和旋转原理
作者:
Sang Kug Chung
;
Kyungjoo Ryu
;
Sung Kwon Cho
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
31.
Silicon Carbide Surface Micromachining Technology by Tetramethylsilane-Based Atmospheric Vapor Deposition
机译:
基于四甲基硅烷的大气气相沉积碳化硅表面微机械线技术
作者:
Hatakeyama Y.
;
Esashi M.
;
Tanaka S.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
32.
SILICON CARBIDE SURFACE MICROMACHINING TECHNOLOGY BY TETRAMETHYLSILANE-BASED ATMOSPHERIC VAPOR DEPOSITION
机译:
基于四甲基硅烷的大气气相沉积碳化硅表面微机械线技术
作者:
Y. Hatakeyama
;
M. Esashi
;
S. Tanaka
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
33.
ACCELERATION COMPENSATION OF MEMS RESONATORS USING ELECTROSTATIC TUNING
机译:
MEMS谐振器使用静电调谐的加速补偿
作者:
S. Yoneoka
;
G. Bahl
;
J. Salvia
;
K. L. Chen
;
A. B. Graham
;
H. K. Lee
;
G. Yama
;
R. N. Candler
;
T. W. Kenny
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
34.
A LOW-NOISE OSCILLATOR BASED ON A MULTI-MEMBRANE CMUT FOR HIGH SENSITIVITY RESONANT CHEMICAL SENSORS
机译:
基于高灵敏度共振化学传感器的多膜CMUT的低噪声振荡器
作者:
H. J. Lee
;
K. K. Park
;
P. Cristman
;
O. Oralkan
;
M. Kupnik
;
B. T. Khuri-Yakub
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
35.
Piezoelectric PZT Thin Films in the 100nm Range: A Solution for Actuators Embedded in Low Voltage Devices
机译:
100nm范围内的压电PZT薄膜:嵌入低压装置中的执行器溶液
作者:
Defay E.
;
Le Rhun G.
;
Perruchot F.
;
Rey P.
;
Suhm A.
;
Aid M.
;
Liu L.J.
;
Pacheco S.
;
Miller M.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
36.
Novel Concept of Microwave MEMS Reconfigurable 7X45?° Multi-Stage Dielectric-Block Phase Shifter
机译:
微波MEMS的新颖概念可重新配置7x45?°多级电介质块相移器
作者:
Somjit N.
;
Stemme G.
;
Oberhammer J.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
37.
AIR PRESSURE SENSOR FOR AN INSECT WING
机译:
用于昆虫的气压传感器
作者:
Hidetoshi TAKAHASHI
;
Kiyoshi MATSUMOTO
;
Isao SHIMOYAMA
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
38.
DESIGN AND FABRICATION OF A GAUSSIAN-SHAPED AT-CUT QUARTZ CRYSTAL RESONATOR
机译:
高斯形型石英晶体谐振器的设计和制造
作者:
T. Abe
;
H. Kishi
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
39.
CMOS-Compatible 2-Axis Self-Aligned Vertical Comb-Driven Micromirror for Large Field-of-View Microendoscopes
机译:
CMOS兼容的2轴自对准垂直梳理微镜用于大型视场微型微型镜片
作者:
Kumar K.
;
Zhang X.J.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
40.
A Microfluidic Affinity Cocaine Sensor
机译:
微流体亲和可卡因传感器
作者:
Hilton John P.
;
Nguyen ThaiHuu
;
Pei Renjun
;
Stojanovic Milan
;
Lin Qiao
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
41.
Thermal Characterization of Microliter Amounts of Liquids by a Micromachined Calorimetric Transducer
机译:
微机械热换能器热胆量液体的热表征
作者:
Parr G.
;
Santagata-Iervolino E.
;
van Herwaarden A. W.
;
Wien W.
;
Vellekoop M.J.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
42.
MONOLITHICALLY INTEGRATED PIEZOMEMS SP2T SWITCH AND CONTOUR-MODE FILTERS
机译:
单片集成压电SP2T开关和轮廓模式过滤器
作者:
J. S. Pulskamp
;
D. C. Judy
;
R. G. Polcawich
;
R. Kaul
;
H. Chandrahalim
;
S. A. Bhave
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
43.
Bidirectional Electrothermal Electromagnetic Torsional Microactuators
机译:
双向电热电磁扭转微致动器
作者:
Eun Youngkee
;
Na Hyungjoo
;
Kim Jongbaeg
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
44.
Flow Acceleration Effect on Cancer Cell Deformation and Detachment
机译:
对癌细胞变形和脱离的流动加速效应
作者:
Cheung L.S.L.
;
Zheng X.J.
;
Stopa A.
;
Schroeder J.
;
Heimark R.L.
;
Baygents J.C.
;
Guzman R.
;
Zohar Y.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
45.
Spatially Arranged Microelectrodes using Wire Bonding Technology for Spatially Distributed Chemical Information Acquision
机译:
空间排列的微电极使用导线键合技术进行空间分布式化学信息采集
作者:
Tonomura W.
;
Shimizu K.
;
Konishi S.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
46.
TEMPERATURE COMPENSATION IN SILICON-BASED MICRO-ELECTROMECHANICAL RESONATORS
机译:
硅基微机电谐振器中的温度补偿
作者:
F. Schoen
;
M. Nawaz
;
T. Bever
;
R. Gruenberger
;
W. Raberg
;
W. Weber
;
B. Winkler
;
R. Weigel
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
47.
Surface-Temperature Control of Silicon Nanowires in Dry and Liquid Conditions
机译:
干燥液体条件下硅纳米线的表面温度控制
作者:
Akiyama S.
;
Cheng Y. T.
;
Fattaccioli J.
;
Takama N.
;
Low P.
;
Bergaud C.
;
Kim B. J.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
48.
THIN FILM TRANSISTOR (TFT) SENSING ELEMENTS FABRICATED IN SURFACE MICROMACHINED POLYMERMEMS FOR A DIFFERENTIAL CALORIMETRIC FLOW SENSOR
机译:
用于差分量热流量传感器的表面微机械聚合物中制造的薄膜晶体管(TFT)感测元件
作者:
S. H. Tsang
;
K. Simard
;
I. G. Foulds
;
H. Izadi
;
K. S. Karim
;
M. Parameswaran
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
49.
A New Efficient Method for Simulating the Dynamic Response of Electrostatic Switches
机译:
一种模拟静电开关动态响应的新型高效方法
作者:
Leus V.
;
Elata D.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
50.
Robust Wafer-Level Thin-Film Encapsulation of Microstructures using Low Stress PECVD Silicon Carbide
机译:
使用低应力PECVD碳化硅微结构的鲁棒晶片级薄膜封装
作者:
Rajaraman V.
;
Pakula L.S.
;
Pham H.T.M.
;
Sarro P.M.
;
French P.J.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
51.
A MEMS RECONFIGURABLE QUAD-BAND CLASS-E POWER AMPLIFIER FOR GSM STANDARD
机译:
用于GSM标准的MEMS可重新配置的Quad-Band Class-E功率放大器
作者:
L. Larcher
;
R. Brama
;
M. Ganzerli
;
J. Iannacci
;
B. Margesin
;
M. Bedani
;
A. Gnudi
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
52.
TUNABLE SCANNING FIBER OPTIC MEMS-PROBE FOR ENDOSCOPIC OPTICAL COHERENCE TOMOGRAPHY
机译:
用于内窥镜光学相干断层扫描的可调扫描光纤MEMS探针
作者:
K. Aljasem
;
A. Seifert
;
H. Zappe
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
53.
Hybrid on Demand Jetting System for Ultra Fine Droplet based on Electrohydrodynamic and Piezoelectric Actuation
机译:
基于电液体动力学和压电驱动的超细液滴需求喷射系统杂交
作者:
Kim Young-Jae
;
Lee Jun-Sung
;
Kim Sang-Yoon
;
Park Sung-Eun
;
Hwang Jungho
;
Kim Yong-Jun
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
54.
LOW-RESONANT-FREQUENCY MICRO ELECTRET GENERATOR FOR ENERGY HARVESTING APPLICATION
机译:
用于能量收集应用的低谐振频率微电子发生器
作者:
M. Edamoto
;
Y. Suzuki
;
N. Kasagi
;
K. Kashiwagi
;
Y. Morizawa
;
T. Yokoyama
;
T. Seki
;
M. Oba
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
55.
EL DISPLAY PRINTED ON CURVED SURFACE
机译:
EL显示器印在弯曲的表面上
作者:
Taik-Min Lee
;
Hyun-Cheol Choi
;
Jae-Ho Noh
;
Dong-Soo Kim
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
56.
Microfluidic Odorant Sensor with Frog Eggs Expressing Olfactory Receptors
机译:
微流体气味传感器与表达嗅卵的青蛙蛋
作者:
Misawa Nobuo
;
Mitsuno Hidefumi
;
Kanzaki Ryohei
;
Takeuchi Shoji
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
57.
MEMS OPTICAL LOGIC NOR GATE USING INTEGRATED TUNABLE LASERS
机译:
MEMS光学逻辑和使用集成可调激光器的门
作者:
B. Liu
;
H. Cai
;
X. M. Zhang
;
J. Tamil
;
Q. X. Zhang
;
A. Q. Liu
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
58.
ULTRA SMALL SINGLE WALLED CARBON NANOTUBE PRESSURE SENSORS
机译:
超小单壁碳纳米管压力传感器
作者:
T. Helbling
;
S. Drittenbass
;
L. Durrer
;
C. Roman
;
C. Hierold
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
59.
Development of New Biochemical IC Chip-Set for Real-Time PCR
机译:
用于实时PCR新型生化IC芯片组的开发
作者:
Ikuta Koji
;
Sasao Toshio
;
Okuda Yuya
;
Watamura Kenji
;
Ikeuchi Masashi
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
60.
Tensile Measurement of a Single Crystal Gallium Nitride Nanowire
机译:
单晶氮化镓纳米线的拉伸测量
作者:
Brown J.J.
;
Baca A.I.
;
Bright V.M.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
61.
Pupal-Stage Inserted Silicon Microprobe Neural Interface in Insects for Gas Sensing
机译:
蛹阶段在昆虫中插入硅片神经界面
作者:
Shen C.J.
;
Gilmour R.
;
Lal A.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
62.
Integrating EWOD with Surface Ratchets for Active Droplet Transport and Sorting
机译:
将eWod与表面棘轮集成,用于主动液滴传输和分拣
作者:
Duncombe Todd A.
;
Kumemura Momoko
;
Fujita Hiroyuki
;
Bohringer Karl F.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
63.
RESONANT PIEZOELECTRIC ALGAN/GAN MEMS SENSORS IN LONGITUDINAL MODE OPERATION
机译:
纵向模式操作中的谐振压电AlGaN / GaN MEMS传感器
作者:
K. Brueckner
;
F. Niebelschuetz
;
K. Tonisch
;
R. Stephan
;
V. Cimalla
;
O. Ambacher
;
M. A. Hein
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
64.
Design of Power-Optimized Thermal Cantilevers for Scanning Probe Topography Sensing
机译:
用于扫描探针形貌感测的功率优化的热悬臂设计
作者:
Rothuizen H.
;
Despont M.
;
Drechsler U.
;
Hagleitner C.
;
Sebastian A.
;
Wiesmann D.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
65.
Batch Fabrication of Out-of-Plane, IC-Compatible, Nanoscale-Tip Silicon Neuroprobe Arrays
机译:
批量制造外平面,IC兼容,纳米粒子硅神经植物阵列
作者:
Goryu A.
;
Ikedo A.
;
Takei K.
;
Sawada K.
;
Kawano T.
;
Ishida M.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
66.
Electrodeposition of Permalloy in Deep Silicon Trenches Without Edge-Overgrowth Utilizing Dry Film Photoresist
机译:
利用干膜光致抗蚀剂的无边缘过度生长的深层硅沟槽的电沉积在深硅沟槽中的电沉积
作者:
Park Sang-Won
;
Senesky Debbie G.
;
Pisano Albert P.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
67.
MECHANICAL RESPONSE EVALUATION OF HIGH-THERMALLY-STABLE-GRADE PARYLENE SPRING
机译:
高热稳定级聚乙烯弹簧的机械响应评价
作者:
Chihiro Kamezawa
;
Yuji Suzuki
;
Nobuhide Kasagi
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
68.
Highly Efficient Extraction of Mechanical and Linear and Quadratic Piezoresistive Properties of Poly-Si Films using Wafer-Scale Microtensile Testing
机译:
使用晶片级微调检测高效提取多硅膜的机械和线性和二次压阻性能
作者:
Schmidt M. E.
;
Gaspar J.
;
Held J.
;
Kamiya S.
;
Paul O.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
69.
SUPERCRITICAL FLUID DEPOSITION (SCFD) TECHNIQUE AS A NOVEL TOOL FOR MEMS FABRICATION
机译:
超临界流体沉积(SCFD)技术作为MEMS制造的新型工具
作者:
T. Momose
;
T. Ohkubo
;
T. Uejima
;
T. Saito
;
M. Sugiyama
;
Y. Shimogaki
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
70.
POST-FABRICATION ELECTRICAL TRIMMING OF SILICON BULK ACOUSTIC RESONATORS USING JOULE HEATING
机译:
使用焦耳加热的硅散装声谐振器的后制造电气修剪
作者:
A. K. Samarao
;
F. Ayazi
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
71.
MASS-ANALYSIS SCANNING FORCE MICROSCOPY WITH ELECTROSTATIC SWITCHING MECHANISM
机译:
具有静电开关机构的质量分析扫描力显微镜
作者:
C. Y. Shao
;
Y. Kawai
;
T. Ono
;
M. Esashi
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
72.
Design of a Passive and Portable DMFC Operating in All Orientations
机译:
在所有方向上操作的被动和便携式DMFC的设计
作者:
Paust N.
;
Krumbholz S.
;
Munt S.
;
Muller C.
;
Zengerle R.
;
Ziegler C.
;
Koltay P.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
73.
Wafer Scale Encapsulation of Large Lateral Deflection MEMS Structures
机译:
晶圆刻度封装大横向偏转MEMS结构
作者:
Graham A.B.
;
Messana M.
;
Hartwell P.
;
Provine J.
;
Yoneoka S.
;
Kim B.
;
Melamud R.
;
Howe R.T.
;
Kenny T.W.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
74.
A Micro Direct Methanol Fuel Cell Integrated with a Temperature Control System for Extreme Environments
机译:
一种微直接甲醇燃料电池,用于极端环境的温度控制系统
作者:
Zhang Qian
;
Wang Xiaohong
;
Zhu Yiming
;
Zhou Yanan
;
Qiu Xinping
;
Liu Litian
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
75.
Glass and Quartz Microscintillators for CMOS Compatible Multi-Species Radiation Detection
机译:
用于CMOS兼容的多种辐射检测的玻璃和石英微观仪
作者:
Waguespack Randy
;
Berry Heath
;
Pellegrin Scott
;
Wilson Chester G.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
76.
LOW TEMPERATURE FABRICATION PROCESS FOR HIGH-ASPECT-RATIO AND MULTI-COMPLIANT MEMS
机译:
用于高纵横比和多标准的MEMS的低温制造工艺
作者:
S. Kuhne
;
R. Blattmann
;
Ch. Hierold
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
77.
POLYMERIC (SU-8) OPTICAL MICROSCANNER DRIVEN BY ELECTROSTATIC ACTUATION
机译:
聚合物(SU-8)由静电致动驱动的光学微观仪
作者:
S. K. Lee
;
M. G. Kim
;
J. Y. An
;
M. H. Jun
;
S. Yang
;
J. H. Lee
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
78.
Simple and Robust Air Gap-Based MEMS Switch Technology for RF-Applications
机译:
基于气隙的简单且坚固的RF应用的MEMS开关技术
作者:
Ekkels P.
;
Rottenberg X.
;
Czarnecki P.
;
Puers R.
;
Tilmans H.A.C.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
79.
Gas-Liquid Separated Resonator for Bio-Chemical Application
机译:
生物化学应用的气液分离谐振器
作者:
Hida H.
;
Shikida M.
;
Okochi M.
;
Honda H.
;
Sato K.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
80.
Atomic Layer Deposition (ALD) Tungsten NEMS Devices via a Novel Top-Down Approach
机译:
原子层沉积(ALD)通过新颖的自上而下方法钨装置
作者:
Davidson B.D.
;
Chang Y.J.
;
Seghete D.
;
George S.M.
;
Bright V.M.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
81.
Mechanical Characterization of Biomolecules in Liquid using Silicon Tweezers with Subnanonewton Resolution
机译:
硅镊子用亚尼诺州威尔顿分辨率的液体中生物分子的力学表征
作者:
Yamahata C.
;
Sarajlic E.
;
Jalabert L.
;
Kumemura M.
;
Collard D.
;
Fujita H.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
82.
Accuracy Enhancement in the In-Plane Dynamic Measurement of MEMS Actuators using a Laser Doppler Vibrometer with a 45?°-Angled Optical Fiber
机译:
使用激光多普勒振动计的MEMS执行器的平面内动态测量精度增强,具有45Ω° - ° - ° - ° - Alyly光纤
作者:
Kim M. G.
;
Jo K. W.
;
Park Y. S.
;
Jang W. G.
;
Lee J. H.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
83.
Hollow Microneedle Electrode Arrays for Intracellular Recording Applications
机译:
用于细胞内记录应用的空心微针电极阵列
作者:
Held J.
;
Gaspar J.
;
Koester P.J.
;
Tautorat C.
;
Hagner M.
;
Cismak A.
;
Heilmann A.
;
Baumann W.
;
Ruther P.
;
Paul O.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
84.
The Effects of Thermal Oxidation of a MEMS Resonator on Temperature Drift and Absolute Frequency
机译:
MEMS谐振器热氧化对温度漂移和绝对频率的影响
作者:
van der Avoort C.
;
van Wingerden J.
;
van Beek J.T.M.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
85.
THERMOELASTIC FEM-BEM MODEL FOR MEMS RESONATOR SIMULATION
机译:
MEMS谐振器仿真的热弹性FEM井模型
作者:
D. Ekeom
;
L. Buchaillot
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
86.
ELECTRODEPOSITION OF PERMALLOY IN DEEP SILICON TRENCHES WITHOUT EDGE-OVERGROWTH UTILIZING DRY FILM PHOTORESIST
机译:
利用干膜光致抗蚀剂的无边缘过度生长的深层硅沟槽的电沉积在深硅沟槽中的电沉积
作者:
Sang-Won Park
;
Debbie G. Senesky
;
Albert P. Pisano
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
87.
A RF-MEMS BASED MONOLITHICALLY INTEGRATED WIDE RANGE TUNABLE LOW PASS FILTER FOR RF FRONT END APPLICATIONS
机译:
基于RF-MEMS的用于RF前端应用的单整体集成的宽范围可调低通滤波器
作者:
Tomonori Fujii
;
Taisei Irieda
;
Kentaro Nakamura
;
Kenichi Ota
;
Kiyoyuki Ihara
;
Daniel T. McCormick
;
Liwie Lin
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
88.
A 3-D Microfluidic Combinatorial Cell Culture Array
机译:
3-D微流体组合细胞培养阵列
作者:
Liu M. C.
;
Tai Y. C.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
89.
PLANAR MEMS SUPERCAPACITOR USING CARBON NANOTUBE FORESTS
机译:
平面MEMS超级电容器使用碳纳米管森林
作者:
Y. Q. Jiang
;
Q. Zhou
;
L. Lin
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
90.
Development of a Cytomic Force Transducer for Experimental Mechanobiology
机译:
实验力学细胞换能器的开发
作者:
Dy E.
;
Ho C.M.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
91.
Semiconducting Y-Ba-Cu-O Infrared Microbolometer Array Fabricated and Characterized with CCBDI ROIC
机译:
半导体y-Ba-Cu-o红外微泡器阵列制成和以CCBDI ROIC为特征
作者:
Kumar S.
;
Butler D.P.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
92.
Adaptive Blood Cell Separation using Cooperation of Serially Connected Membrane Filters
机译:
使用串联连接膜过滤器配合的自适应血细胞分离
作者:
Kobayashi T.
;
Kato D.
;
Koga H.
;
Morimoto K.
;
Fukuda M.
;
Kinoshita Y.
;
Yoshida H.
;
Konishi S.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
93.
Polymeric (SU-8) Optical Microscanner Driven by Electrostatic Actuation
机译:
聚合物(SU-8)由静电致动驱动的光学微观仪
作者:
Lee S. K.
;
Kim M. G.
;
An J. Y.
;
Jun M. H.
;
Yang S
;
Lee J. H.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
94.
Dual-Axes Confocal Microlens for Raman Spectroscopy
机译:
用于拉曼光谱的双轴共聚焦微透镜
作者:
Siu C.P.B.
;
Wang H.
;
Zeng H.
;
Chiao M.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
95.
A Thermoelectric Gas Sensor based on an Embedded Tin Oxide Catalyst for Detecting Hydrogen and NOx Gases
机译:
一种基于嵌入式氧化锡催化剂的热电气体传感器,用于检测氢和NOx气体
作者:
Yoon Seung-Il
;
Lee Chung-il
;
Kim Yong-Jun
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
96.
CMOS-COMPATIBLE 2-AXIS SELF-ALIGNED VERTICAL COMB-DRIVEN MICROMIRROR FOR LARGE FIELD-OF-VIEW MICROENDOSCOPES
机译:
CMOS兼容的2轴自对准垂直梳理微镜用于大型视场微型微型镜片
作者:
K. Kumar
;
X. J. Zhang
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
97.
A Multiple Degrees of Freedom Electrothermal Actuator for a Versatile MEMS Gripper
机译:
用于多功能MEMS夹具的多程度的自由电热执行器
作者:
Chen Dian-Sheng
;
Yin Chun-Yi
;
Lai Ren-Jie
;
Tsai Jui-che
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
98.
Assessment of Single Cell Viability Following Light-Induced Electroporation Through use of On-Chip Microfluidics
机译:
通过使用片上微流体评估光致电穿孔后的单细胞活力
作者:
Valley Justin K.
;
Hsu Hsan-Yin
;
Neale Steven
;
Ohta Aaron T.
;
Jamshidi Arash
;
Wu Ming C.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
99.
ADJUSTABLE REFRACTIVE INDEX METHOD FOR COMPLEX MICROSTRUCTURES BY AUTOMATED DYNAMIC MODE MULTIDIRECTIONAL UV LITHOGRAPHY
机译:
自动动态模式多向UV光刻复杂微结构的可调节折射率方法
作者:
Jungkwun Kim
;
Tae-Soon Yun
;
Hongsub Jee
;
Yong Kyu Yoon
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
关键词:
Inclined exposure;
Multidirectional UV lithography;
Dynamic mode UV lithography;
Rotational exposure;
In situ refractive index matching medium;
Adjustable refractive index;
100.
An All Polymer Air-Flow Sensor Array using a Piezoresistive Composite Elastomer
机译:
使用压阻复合弹性体的所有聚合物气流传感器阵列
作者:
Aiyar A.R.
;
Song C.
;
Kim S.H.
;
Allen M.G.
会议名称:
《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2009年
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