deep ultraviolet; conformaity; compatibility; BARC; acetal; acidity;
机译:深紫外光刻中底部抗反射层的氧化钛膜
机译:深紫外光刻中底部抗反射层的氧化钛膜
机译:HMDSO膜作为深紫外光刻的底部抗反射涂层的附着力和压脚问题的研究
机译:用于深紫外底面抗反射涂层(BARC)的双预湿RRC(降低抗蚀剂消耗)工艺
机译:设计宽带抗反射涂层。
机译:防反射涂层:常规堆叠层和超薄等离子超表面迷你回顾
机译:深紫外光刻中用于底部抗反射层的氧化钛膜