Assembly; Bridges; Coatings; Resistance; Resists; Silicon; Substrates;
机译:使用正向自对准结构和可匹配的机械柔性互连的自对准硅中介层砖和硅桥
机译:具有高度可扩展间距的机械柔性互连(MFI)
机译:用于大型纳米光子学的系统的自对准硅中介层和硅桥
机译:机械柔性互连,具有高度可扩展的间距和用于硅插入器瓷砖和桥梁互连的大脱扣高度
机译:缩放硅纳米光子互连:硅电光调制器,慢光和光机械设备。
机译:具有可调高度-间距比的离散硅微针阵列的改进制造方法
机译:缩放硅纳米光子互连:硅电光调制器,慢光和光机械设备