sMIM; SPM; doping concentration;
机译:APS -APS 2017年3月会议-活动-使用扫描微波阻抗显微镜(sMIM)表征半导体器件中掺杂剂和电介质中的缺陷
机译:实用的定量扫描微波阻抗显微镜
机译:实用定量扫描微波阻抗显微镜显微镜
机译:半导体器件的实用定量扫描微波阻抗显微镜显微镜
机译:烷烃硫醇自组装单分子层,反应性自组装单分子层,扁平金纳米颗粒/铟锡氧化物基质的生长介质和温度依赖性结构相的扫描隧道显微镜研究,以及互补金属氧化物中局部机械应力表征的扫描表面光电压显微镜研究半导体器件。
机译:通过扫描微波阻抗显微镜和动态光谱法测定3D架构的集成销二极管
机译:时域耦合全麦克斯韦尔和漂移 - 扩散求解器,用于模拟半导体的扫描微波显微镜显微镜