声学扫描显微镜在塑封器件失效分析中的应用

摘要

为了适应高可靠性领域的要求,本文重点介绍了声学扫描显微镜的工作原理.同时,用声学扫描检测技术对经历温循后失效的某型号塑封稳压器进行了无损失效分析,准确而高效地找到了失效部位和失效原因.