micromechanical devices; contact resistance; leakage currents; sputter etching; probes; vertically guided MEMS probe card; trench type cantilever; contact resistance measurement; leakage current; fine pitch; cantilever beam; RIE silicon etching; 50 micron;
机译:细间距MEMS探针卡的沟槽型悬臂探针的双步DRIE和Ni-Co电镀工艺效果
机译:坚固的MEMS探针卡,带有垂直导轨,用于精细间距测试
机译:使用MEMS技术制造新型垂直硅探针卡的微探针束
机译:具有深凹沟槽式悬臂的垂直引导MEMS探针卡
机译:用于AFM引导扫描厅探针显微镜显微镜的微机器III-V悬臂
机译:内镜超声引导下切开孔并进行深度活检以利用新型垂直透热环诊断胃浸润性肿瘤和胃肠道黏膜下肿瘤
机译:具有超密集阵列金属探针的mEms垂直探针卡,用于晶圆级IC测试
机译:心脏康复。临床实践指南第17号;心脏康复作为二级预防。第17号临床医师快速参考指南;通过心脏康复从心脏问题中恢复。患者指南