MEMS工艺制备的悬臂梁探针卡及制备方法

摘要

本发明涉及探针卡技术领域，特别涉及MEMS工艺制备的悬臂梁探针卡及制备方法，多层陶瓷板的底面设置有MEMS探针，MEMS探针电连接于测试电路板，测试电路板电连接于测试机，MEMS探针接触存储芯片的管脚PAD位，MEMS探针包括第一悬臂梁和第二悬臂梁，第二悬臂梁和第一悬臂梁之间形成镂空层。与现有技术相比，本发明的MEMS工艺制备的悬臂梁探针卡及制备方法通过第一悬臂梁和第二悬臂梁的双层承重结构可以更好满足测试过程中的机械强度，并且镂空层利于提高韧性，可以有效延长MEMS探针的使用寿命，节约成本。