具有成角度探针的MEMS探针卡

摘要

一种探针芯片，由集成在单个基板上的多个探针组成。探针的布局可以被设计为与关于被测设备的特定特征相匹配。探针是弹簧加载的，以允许在与被测设备接触期间发生可逆地变形。探针芯片用于集成电路(IC)的详细电气和机械测试。