机译:使用基于CMOS兼容硅纳米线场效应晶体管的电纳米传感器进行超灵敏核酸检测
机译:在硅光子平台上通过光刻法制造的CMOS兼容高Q光子晶体纳米腔
机译:由压电薄膜致动器驱动的高品质因数硅悬臂,用于基于共振的质量检测
机译:高Q和CMOS兼容的单晶硅悬臂,具有分离的片上压电致动器,用于超敏感质量检测
机译:Silicon-CMOS BEOL兼容的材料系统和片上光学互连组件的处理。
机译:在硅光子平台上通过光刻技术制造的CMOS兼容高Q光子晶体纳米腔
机译:使用兼容CMOS的氢化非晶硅波导,在电信波长处以26.5 dB的增益进行片内参数放大
机译:用于互补金属氧化物半导体(CmOs)兼容光开关的硅纳米晶光电克尔效应