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机译:在硅光子平台上通过光刻法制造的CMOS兼容高Q光子晶体纳米腔
机译:超高Q 1D光子晶体纳米岩型在300 mm SOI CMOS平台上的高效共振管理
机译:基于硅 - 绝缘子平台的高Q光子晶体纳米宽度的气体传感性能
机译:光子技术正在融合到CMOS兼容的硅光子平台中
机译:用光刻技术制备的SiO
机译:使用高Q硅光子晶体纳米腔来控制光:光子限制,非线性和相干性。
机译:在硅光子平台上通过光刻技术制造的CMOS兼容高Q光子晶体纳米腔
机译:采用193 nm浸没式光刻技术制造的300 mm sOI衬底上的高Q光子晶体纳米腔