bimetallic thin-film; grayscale; photomask; thermal resist; direct-write; interference lithography; immersion lithography; transparency;
机译:ZEP520A-A抗蚀剂,用于电子束灰度光刻和热熔
机译:掺杂有激光染料的聚合物光掩模的灰度光刻
机译:使用双面(结构化)光掩模进行掩模对准器光刻的硅通孔制造的优化光刻工艺
机译:双金属热抵抗双曝光浸入光刻和灰度光掩模的电位
机译:用于光掩模,微加工和微加工的双金属热阻。
机译:减少热不稳定糖损害对DNA双链断裂的贡献暴露于重离子后形成
机译:由双金属Bi / In热电阻制成的单步直写光掩模
机译:纳米级光刻与电子暴露的siO2抗蚀剂