Key Laboratory of MEMS of Ministry of Education, Southeast University, Nanjing , 210096, China;
SU-8 photoresist; fresnel diffraction; light intensity distribution; three-dimensional simulation;
机译:二维动态CA方法用于光刻胶刻蚀模拟的改进及其在SU-8光刻胶深紫外光刻模拟中的应用
机译:SU-8抗蚀剂在365 nm光源下模拟深紫外光刻
机译:SU-8厚光刻胶倾斜紫外光刻工艺的高效仿真系统
机译:具有存储和计算效率的三维仿真系统,用于厚SU-8光刻胶的UV光刻
机译:深紫外光致抗蚀剂技术中的问题:用于248和213 nm光刻的本体和表面成像抗蚀剂的表征和建模。
机译:直线加速器相干光源下硬X射线脉冲强度分布的数值模拟
机译:紫外强度,线速度和光分布对卷 - 卷紫外线膜转化和表面弹性模量的影响
机译:远(深)紫外高强度激光(准分子)辐射脉冲在聚合物中的孔形成(蚀刻)及其与聚合物深紫外光解中光刻胶的相关性