Dept. of Mechanical and Electrical Engineering, Xiamen University, Xiamen 361005, China;
Faculty of Electromechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou, China;
Mechanical Engineering College, Jimei University, Xiamen, China;
MEMS switch; high isolation; cantilever beam; silicon;
机译:用于表征悬臂梁式射频微机电系统(MEMS)开关的纳米压痕技术
机译:表面微加工技术的多晶硅悬臂梁在微开关中的应用
机译:射频MEMS开关的悬臂梁设计
机译:用于高隔离度RF MEMS开关的微硅悬臂梁的可行性研究
机译:在超导射频(RF)微机电(MEM)开关中用作致动膜的金薄膜的弹性模量研究
机译:高隔离度串联-并联RF MEMS开关
机译:基于两级驱动的悬臂RF MEMS微开关的设计和制作
机译:用干涉偏转测量法表征多晶硅微悬臂梁产生弯矩的机理