首页> 外国专利> A fabrication method for making a planar cantilever, low surface leakage, reproducible and reliable metal dimple contact micro-relay MEMS switch,

A fabrication method for making a planar cantilever, low surface leakage, reproducible and reliable metal dimple contact micro-relay MEMS switch,

机译：一种制造平面悬臂，低表面泄漏，可再现且可靠的金属凹窝接触微继电器MEMS开关的制造方法，

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公开/公告号GB0618409D0

专利类型
公开/公告日2006-11-08

原文格式PDF
申请/专利权人 WIRELESS MEMS INCORPORATED;
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申请/专利号GB20060018409
发明设计人
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申请日2005-02-17
分类号B44C1/22;B81B3/00;B81C1/00;C03C15/00;C03C25/68;C23F1/00;H01H1/00;H01H51/22;H01H57/00;H01H59/00;H01L21/00;H01L31/00;H01P1/10;
国家 GB
入库时间 2022-08-21 21:16:47

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