結晶微粒化を目的とした急冷マイクロリアクタシステムの製作と評価

摘要

マイクロ化学プロセスの分野において，マイクロリアク タは新現象，新反応への可能性から盛んに研究開発が行わrnれている(3)。マイクロリアクタとは，微細加工技術やrnMEMS (Micro Electro Mechanical Systems)技術を用い，rn製作された数から数百のマイクロ空間内における 現象を利用した化学反応•物質生産のための装置である(4)。 マイクロ空間内では，単位体積（流量）あたりの表面積が大 きくなる。そのため，マイクロリアクタは熱交換効率が高 く，温度制御が容易に行えるという特徴を有する。この特徴 は高い温度制御性，急激な加熱または冷却を必要とする現 象において有効であると考えられる。例として，結晶粒成長 制御のため，温度制御を求められる再結晶現象が挙げられrnる。