机译:基于静电驱动和感测谐振的MEMS传感器上的电容馈通电流的分析和消除
机译:用于抑制生物应用中CMOS-MEMS电容式力传感器的垂直干扰的静电执行器的设计
机译:带有原位电容位置校正的垂直驱动静电梳驱动器,用于相移衍射干涉仪
机译:静电驱动和电容感应的差分横向共振压力微传感器
机译:使用电热执行器和电容位移传感器的反馈可控1D和2D微型定位器。
机译:基于静电驱动弯曲微梁共振频率监测的位移传感
机译:静电致动器的设计抑制BIO应用中CMOS-MEMS电容式传感器垂直扰动的静电致动器