轮廓仪测针误差修正算法的研究

摘要

介绍触针式二维轮廓测量仪固有误差和缺陷,分析了触针半径补偿算法的缺陷;设计了一种补偿效果更为理想的测针误差修正算法,提高了仪器测量精度。