声明
1绪论
1.1课题来源
1.2课题目的和意义
1.3国内外研究现状
1.4本文的主要研究内容
2传感器非线性误差分析及校准
2.1触针式轮廓仪测量原理
2.2大范围轮廓测量非线性误差分析
2.3校准算法原理
2.4校准算法仿真测试
2.5校准算法实验测试
2.6本章小结
3针尖磨损影响分析及误差补偿
3.1针尖磨损对轮廓测量的影响
3.2被测轮廓重建算法
3.3针尖轮廓重建算法
3.4针尖轮廓重建算法仿真测试
3.5本章小结
4导轨误差影响分析及误差补偿
4.1 χ向导轨直线度误差补偿
4.2 γ 向工作台安装误差对轮廓测量的影响
4.3补偿算法原理
4.4补偿算法仿真测试
4.5补偿算法实验测试
4.6本章小结
5软件系统设计及实验
5.1软件系统框架设计及界面
5.2软件系统实现方法
5.3实验测试
5.4本章小结
6总结与展望
6.1总结
6.2展望
致谢
参考文献
附录 攻读硕士期间成果