首页> 中国专利> 用于触针片的触针组平整化的触针片校准装置

用于触针片的触针组平整化的触针片校准装置

摘要

本发明涉及一种触针片校准装置,用于触针片(1)的触针组的平整化,其中所述触针片(1)经一个专用的动态工作的校准单元(4;11)与一个作为通向测试头(5)的接触接口的印刷电路板(3)相连。

著录项

  • 公开/公告号CN1300943A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2001-06-27

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 因芬尼昂技术股份公司;

    申请/专利号CN00135523.6

  • 发明设计人 M·昆德;

    申请日2000-11-03

  • 分类号G01R1/073;G01R31/28;H01L21/66;

  • 代理机构中国专利代理(香港)有限公司;

  • 代理人杨松龄

  • 地址 联邦德国慕尼黑

  • 入库时间 2023-12-17 13:58:38

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2011-02-02

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01R1/073 授权公告日:20050413 终止日期:20091203 申请日:20001103

    专利权的终止

  • 2005-04-13

    授权

    授权

  • 2002-07-31

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2001-06-27

    公开

    公开

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号