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双狭缝式光触针表面轮廓传感器的研究

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摘要

本文提出一种双狭缝式光触针表面轮廓传感器,并采用激光束光学方法计算其特性及各结构参数与特性的关系.实验研究所得到的特性曲线和理论分析是一致的.本文还给出了对矩形轮廓及三角形轮廓样板的实测结果.

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来源
《上海交通大学学报》 |1992年第4期|66-72|共7页
作者
严慎; 马石林; 张鄂;
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作者单位

上海交通大学精密仪器系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
激光; 触针; 轮廓; 测量; 传感器;

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