触针式表面轮廓测量仪量值溯源方法研究

摘要

目前国内尚无开展检定或校准接触(触针)式表面轮廓仪的计量检定规程或校准技术规范,致使无法对接触(触针)式表面轮廓仪测量的二维形状、位置等参数的量值进行溯源,福建省大、中型机械加工企业和检验机构的机械加工、产品检验领域又需要对接触(触针)式表面轮廓仪量值溯源。为确保开展接触(触针)式表面轮廓仪量值溯源与检测数据准确可靠,根据接触(触针)式表面轮廓仪工作原理与计量技术特性,研究提出接触(触针)式表面轮廓仪计量性能的校准方法及其校准结果的不确定度评定方法,作为福建省在开展校准接触(触针)式表面轮廓仪的技术依据。