机译:静电致动器的设计抑制BIO应用中CMOS-MEMS电容式传感器垂直扰动的静电致动器
机译:用于抑制生物应用中CMOS-MEMS电容式力传感器的垂直干扰的静电执行器的设计
机译:用于生物医学应用的纳米牛顿CMOS-MEMS电容式力传感器的最佳PID控制
机译:通过多物理场仿真为集成CMOS-MEMS技术设计的电容式CMOS-MEMS传感器
机译:CMOS-MEMS纳米牛顿电容力传感器的主动振动控制使用PZT的BIO应用
机译:电容式CMOS-MEMS惯性传感器的传感和控制电子设计。
机译:通过静电力在丝纤维表面上补充氧化石墨烯涂层用于电容式湿度传感器应用
机译:微电极阵列-静电微执行器和电容式微传感器设计的新方法
机译:使用垂直轴CmOs-mEms驱动和传感的陀螺仪和微镜设计