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Flatness, Roughness, and Discrete Defects Characterization for Computer Disks, Wafers, and Flat Panel Displays II
Flatness, Roughness, and Discrete Defects Characterization for Computer Disks, Wafers, and Flat Panel Displays II
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1.
X-ray scanner for the visualization of the spatial distribution of nanometer-scale roughness
机译:
X射线扫描仪用于可视化纳米级粗糙度的空间分布
作者:
Vladimir V. Protopopov
;
Institute of Physics
;
Technology
;
Moscow
;
Russia
;
Kamil A. Valiev
;
Institute of Physics
;
Technology
;
Moscow
;
Russia
;
Rafik M. Imamov
;
Shubnikov Institute of Crystallography
;
Moscow
;
Russia.
会议名称:
《Flatness, Roughness, and Discrete Defects Characterization for Computer Disks, Wafers, and Flat Panel Displays II》
|
1998年
2.
Use of new technology for enhanced detection of crystalline defects on silicon wafers
机译:
使用新技术增强对硅晶片上晶体缺陷的检测
作者:
Lie Dou
;
ADE Optical Systems
;
Charlotte
;
NC
;
USA
;
Daniel Kesler
;
ADE Optical Systems
;
Charlotte
;
NC
;
USA
;
Richard Grose
;
ADE Optical Systems
;
Charlotte
;
NC
;
USA.
会议名称:
《Flatness, Roughness, and Discrete Defects Characterization for Computer Disks, Wafers, and Flat Panel Displays II》
|
1998年
3.
Surface particle detection for the 0.07-um generation and beyond
机译:
0.07微米及以上的表面颗粒检测
作者:
Benjamin D. Buckner
;
Arizona State Univ.
;
Tempe
;
AZ
;
USA
;
Lakkapragada Suresh
;
Arizona State Univ.
;
Tempe
;
AZ
;
USA
;
Edwin Dan Hirleman
;
Arizona State Univ.
;
Tempe
;
AZ
;
USA.
会议名称:
《Flatness, Roughness, and Discrete Defects Characterization for Computer Disks, Wafers, and Flat Panel Displays II》
|
1998年
4.
Round robin determination of power spectral densities of different Si wafer surfaces
机译:
循环测定不同硅晶片表面的功率谱密度
作者:
Egon Marx
;
National Institute of Standards
;
Technology
;
Gaithersburg
;
MD
;
USA
;
Igor J. Malik
;
Silicon Genesis Corp.
;
Campbell
;
CA
;
USA
;
Yale E. Strausser
;
Digital Instruments
;
Inc.
;
Santa Barbara
;
CA
;
USA
;
Thomas C. Bristow
;
Chapman Instruments
;
Rochester
会议名称:
《Flatness, Roughness, and Discrete Defects Characterization for Computer Disks, Wafers, and Flat Panel Displays II》
|
1998年
5.
Scanning auger microscopy characterization of magnetic hard disks
机译:
磁盘扫描的螺旋钻显微镜表征
作者:
Jeffrey R. Kingsley
;
Charles Evans Associates
;
Redwood City
;
CA
;
USA
;
David W. Harris
;
Charles Evans Associates
;
Sunnyvale
;
CA
;
USA
;
D.L. Neiman
;
Hewlett-Packard Co.
;
Corvallis
;
OR
;
USA
;
Jingyu Huang
;
Charles Evans Associates
;
Sunnyvale
;
CA
;
USA.
会议名称:
《Flatness, Roughness, and Discrete Defects Characterization for Computer Disks, Wafers, and Flat Panel Displays II》
|
1998年
6.
Rapid and accurate determination of transparency conductivity etchability patternability and manufacturability of ITO films
机译:
快速准确地确定ITO薄膜的透明导电性可蚀刻性和可制造性
作者:
D.Bloom
;
nk Technology
;
Inc.
;
Santa Clara
;
CA
;
USA
;
G.G. Li
;
nk Technology
;
Inc.
;
Santa Clara
;
CA
;
USA
;
K.Zhang
;
EGG Amorphous Silicon
;
Santa Clara
;
CA
;
USA
;
A. Rahim Forouhi
;
nk Technology
;
Inc.
;
Santa Clara
;
CA
;
USA
;
Iris Bloomer
;
nk Technology
;
In
会议名称:
《Flatness, Roughness, and Discrete Defects Characterization for Computer Disks, Wafers, and Flat Panel Displays II》
|
1998年
7.
Comparison of models and measurements of scatter from surface-bound particles
机译:
表面结合颗粒的散射模型和测量结果的比较
作者:
Craig A. Scheer
;
ADE Optical Systems
;
Charlotte
;
NC
;
USA
;
John C. Stover
;
ADE Optical Systems
;
Charlotte
;
NC
;
USA
;
Vladimir I. Ivakhnenko
;
ADE Optical Systems
;
Charlotte
;
NC
;
USA.
会议名称:
《Flatness, Roughness, and Discrete Defects Characterization for Computer Disks, Wafers, and Flat Panel Displays II》
|
1998年
8.
Application of bidirectional ellipsometry to the characterization of roughness and defects in dielectric layers
机译:
双向椭圆仪在介电层粗糙度和缺陷表征中的应用
作者:
Author(s): Thomas A. Germer National Institute of Standards and Technology Gaithersburg MD USA.
会议名称:
《Flatness, Roughness, and Discrete Defects Characterization for Computer Disks, Wafers, and Flat Panel Displays II》
|
1998年
9.
Neural network approach to rapid thin film characterization
机译:
神经网络方法快速表征薄膜
作者:
Author(s): Nickhil H. Jakatdar Univ. of California/Berkeley Berkeley CA USA
;
Xinhui Niu Univ. of California/Berkeley Berkeley CA USA
;
Costas J. Spanos Univ. of California/Berkeley Berkeley CA USA.
会议名称:
《Flatness, Roughness, and Discrete Defects Characterization for Computer Disks, Wafers, and Flat Panel Displays II》
|
1998年
10.
New 3D surface profile measurement based on phase-shift interfering technology
机译:
基于相移干涉技术的新型3D表面轮廓测量
作者:
Bo Liu
;
Harbin Univ. of Science
;
Technology
;
Harbin
;
China
;
Ling Yang
;
Harbin Univ. of Science
;
Technology
;
Harbin
;
China
;
Jianying Fan
;
Harbin Univ. of Science
;
Technology
;
Harbin
;
China
;
Zhang Jian
;
Harbin Univ. of Science
;
Technology
;
Harbin
;
China.
会议名称:
《Flatness, Roughness, and Discrete Defects Characterization for Computer Disks, Wafers, and Flat Panel Displays II》
|
1998年
11.
Characteristics of a high-resolution displacement sensor using mode interference in the optical waveguide
机译:
在光波导中使用模式干涉的高分辨率位移传感器的特性
作者:
Yutaka Iwasaki
;
Nikon Corp.
;
Tokyo
;
Japan
;
Masaaki Doi
;
Nikon Corp.
;
Tokyo
;
Japan
;
Takashi Shionoya
;
Nikon Corp.
;
Tokyo
;
Japan
;
Kazuya Okamoto
;
Nikon Corp.
;
Tokyo
;
Japan.
会议名称:
《Flatness, Roughness, and Discrete Defects Characterization for Computer Disks, Wafers, and Flat Panel Displays II》
|
1998年
12.
Characterization of laser zone texture with laser Do
机译:
用激光Do表征激光区域纹理
作者:
Evan F. Cromwell
;
StorMedia
;
Inc.
;
Santa Clara
;
CA
;
USA
;
Johnann Adam
;
StorMedia
;
Inc.
;
Santa Clara
;
CA
;
USA
;
Bryan Clark
;
StorMedia
;
Inc.
;
Santa Clara
;
CA
;
USA
;
David D. Saperstein
;
StorMedia
;
Inc.
;
Santa Clara
;
CA
;
USA.
会议名称:
《Flatness, Roughness, and Discrete Defects Characterization for Computer Disks, Wafers, and Flat Panel Displays II》
|
1998年
13.
Analysis and characterization of In-film defects generated during sputter deposition of aluminum-alloy films
机译:
铝合金膜溅射沉积过程中产生的膜内缺陷的分析和表征
作者:
Murali Abburi
;
Applied Materials
;
Inc.
;
Santa Clara
;
CA
;
USA
;
Vikram Pavate
;
Applied Materials
;
Inc.
;
Santa Clara
;
CA
;
USA
;
Sunny Chiang
;
Applied Materials
;
Inc.
;
Santa Clara
;
CA
;
USA
;
Keith Hansen
;
Applied Materials
;
Inc.
;
Santa Clara
;
CA
;
USA
;
Glen Mori
会议名称:
《Flatness, Roughness, and Discrete Defects Characterization for Computer Disks, Wafers, and Flat Panel Displays II》
|
1998年
14.
High-accuracy detection and data processing of NRRO of spindle motor for HDD
机译:
HDD主轴电机NRRO的高精度检测与数据处理
作者:
Zhonglei Fan
;
Huazhong Univ. of Science
;
Technology
;
Wuhan Hubei
;
China
;
Jiangming Ni
;
Huazhong Univ. of Science
;
Technology
;
Wuhan Hubei
;
China
;
Yiseng Huang
;
Huazhong Univ. of Science
;
Technology
;
Wuhan Hubei
;
China
;
Xiaokun Zhu
;
Huazhong Univ. of Science
会议名称:
《Flatness, Roughness, and Discrete Defects Characterization for Computer Disks, Wafers, and Flat Panel Displays II》
|
1998年
15.
Electrostatically actuated stylus profiler with capacitive displacement sensing in vertical and lateral directions
机译:
静电驱动测针轮廓仪,在垂直和横向方向上均具有电容位移感应
作者:
Mike Kearny
;
San Jose State Univ.
;
San Jose
;
CA
;
USA
;
Burford J. Furman
;
San Jose State Univ.
;
Mountain View
;
CA
;
USA.
会议名称:
《Flatness, Roughness, and Discrete Defects Characterization for Computer Disks, Wafers, and Flat Panel Displays II》
|
1998年
16.
Comparison of surface PSDs calculated from both AFM profiles and scatter data
机译:
根据AFM轮廓和散射数据计算的表面PSD的比较
作者:
John C. Stover
;
ADE Optical Systems
;
Charlotte
;
NC
;
USA
;
Vladimir I. Ivakhnenko
;
ADE Optical Systems
;
Charlotte
;
NC
;
USA
;
Craig A. Scheer
;
ADE Optical Systems
;
Charlotte
;
NC
;
USA.
会议名称:
《Flatness, Roughness, and Discrete Defects Characterization for Computer Disks, Wafers, and Flat Panel Displays II》
|
1998年
17.
Statistical process control by employing circular and spherical statistics for the interpretation of BRDF measurements
机译:
通过使用圆形和球形统计量解释BRDF测量值来进行统计过程控制
作者:
Hendrik Rothe
;
Univ. of the Federal Armed Forces
;
Hamburg
;
Germany
;
Dorothee Hueser
;
Univ. of the Federal Armed Forces
;
Hamburg
;
Germany
;
Andre Kasper
;
Univ. of the Federal Armed Forces
;
Hamburg
;
Germany.
会议名称:
《Flatness, Roughness, and Discrete Defects Characterization for Computer Disks, Wafers, and Flat Panel Displays II》
|
1998年
18.
Measurement on roughness of optical surface by focal plane CCD camera
机译:
用焦平面CCD相机测量光学表面的粗糙度
作者:
Jianbai Li
;
Jiangxi Academy of Sciences
;
Nanchang
;
Jiangxi
;
China
;
Xiaoyun Li
;
Jiangxi Academy of Sciences
;
Nanchang
;
China
;
Aihan Ying
;
Jiangxi Academy of Sciences
;
Nanchang
;
China
;
Anqing Zao
;
Jiangxi Academy of Sciences
;
Nanchang
;
China
;
Xiaolin Zhang
会议名称:
《Flatness, Roughness, and Discrete Defects Characterization for Computer Disks, Wafers, and Flat Panel Displays II》
|
1998年
19.
Neural network approach to rapid thin film characterization,
机译:
神经网络方法可快速表征薄膜,
作者:
Nickhil H. Jakatdar
;
Univ. of California/Berkeley
;
Berkeley
;
CA
;
USA
;
Xinhui Niu
;
Univ. of California/Berkeley
;
Berkeley
;
CA
;
USA
;
Costas J. Spanos
;
Univ. of California/Berkeley
;
Berkeley
;
CA
;
USA.
会议名称:
《Flatness, Roughness, and Discrete Defects Characterization for Computer Disks, Wafers, and Flat Panel Displays II》
|
1998年
20.
Modeling of scatter from small pits of arbitrary shape
机译:
从任意形状的小坑中散射的建模
作者:
Vladimir I. Ivakhnenko
;
ADE Optical Systems
;
Charlotte
;
NC
;
USA
;
Craig A. Scheer
;
ADE Optical Systems
;
Charlotte
;
NC
;
USA
;
John C. Stover
;
ADE Optical Systems
;
Charlotte
;
NC
;
USA.
会议名称:
《Flatness, Roughness, and Discrete Defects Characterization for Computer Disks, Wafers, and Flat Panel Displays II》
|
1998年
21.
Novel method for beam collimation using multiple-beam shearing interferometry
机译:
利用多光束剪切干涉仪进行光束准直的新方法
作者:
Kiyofumi Matsuda
;
Univ. of Sydney
;
Sydney NSW
;
Australia
;
Maitreyee Roy
;
Univ. of Sydney
;
Sydney
;
Australia
;
Pal W. Fekete
;
Univ. of Sydney
;
Sydney NSW
;
Australia
;
Tomoaki Eiju
;
Mechanical Engineering Lab.
;
Tsukuba-shi
;
Ibaraki-ken
;
Japan
;
Colin J. Sheppa
会议名称:
《Flatness, Roughness, and Discrete Defects Characterization for Computer Disks, Wafers, and Flat Panel Displays II》
|
1998年
22.
Novel DUV photoresist modeling by optical thin film decomposition from spectral ellipsometry/reflectometry data
机译:
新型DUV光致抗蚀剂建模,可通过光谱椭圆/反射光谱数据对光学薄膜进行分解
作者:
Xinhui Niu
;
Univ. of California/Berkeley
;
Berkeley
;
CA
;
USA
;
Nickhil H. Jakatdar
;
Univ. of California/Berkeley
;
Berkeley
;
CA
;
USA
;
Costas J. Spanos
;
Univ. of California/Berkeley
;
Berkeley
;
CA
;
USA.
会议名称:
《Flatness, Roughness, and Discrete Defects Characterization for Computer Disks, Wafers, and Flat Panel Displays II》
|
1998年
23.
New software algorithm of 3D surface profile measurement based on phase-shift interfering technology
机译:
基于相移干扰技术的3D表面轮廓测量新软件算法
作者:
Bo Liu
;
Harbin Univ. of Science
;
Technology
;
Harbin
;
China
;
Jianying Fan
;
Harbin Univ. of Science
;
Technology
;
Harbin
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China
;
Ling Yang
;
Harbin Univ. of Science
;
Technology
;
Harbin
;
China
;
Qi-Shan Wang
;
Harbin Univ. of Science
;
Technology
;
Harbin
;
China.
会议名称:
《Flatness, Roughness, and Discrete Defects Characterization for Computer Disks, Wafers, and Flat Panel Displays II》
|
1998年
24.
Application of bidirectional ellipsometry to the characterization ofroughness and defects in dielectric layers,
机译:
双向椭圆偏振法在介电层粗糙度和缺陷表征中的应用,
作者:
Thomas A. Germer
;
National Institute of Standards
;
Technology
;
Gaithersburg
;
MD
;
USA.
会议名称:
《Flatness, Roughness, and Discrete Defects Characterization for Computer Disks, Wafers, and Flat Panel Displays II》
|
1998年
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