Key Lab. of MEMS of Education Ministry, Southeast University, Nanjing 210096, China;
thermal conductivity; surface micromachining process; test structure; polysilicon thin films;
机译:表面微加工多晶硅薄膜热导率在线测试微观结构
机译:用于测量多晶硅薄膜导热性的显微组织
机译:多晶硅薄膜的热膨胀系数和残余应力的原位测试结构
机译:一种测量多晶硅薄膜导热率的新试验结构
机译:通过扫描热探针法对非接触式和接触式探针与样品之间的热交换进行分析,以定量测量薄膜和纳米结构的热导率。
机译:多晶硅薄膜热扩散率的原位测试
机译:利用微电热测试结构和基于有限元模型的数据分析测量薄膜热导率
机译:测量薄膜导热率的装置和方法